HD500- دستگاه جدید پوششدهی یون کامپوزیت از سری HD
۱۵ +
سالها تجربه
۷۰۰ +
نصبها در سراسر جهان
نصب شده
راه حل های موجود
۳۰ +
کشورها و مناطق
حکاکی جانبی منحصر به فرد
√ یکنواختی برجسته در حکاکی جانبی
√ خاصیت برجسته حکاکی عالی و نگهداری راحت
اسپاترینگ مگنترون کامپوزیت HiPIMS
√ مجهز به منابع DC + HiPIMS MS، نرخ رسوبگذاری بالایی را تضمین میکند و در عین حال نیازهای انرژی برای رسوبگذاری فلزات نسوز مانند Nb، BC، W، V و غیره را برآورده میسازد و قادر به رسوبگذاری تقریباً همه مواد است.
منبع چند قوسی بهینه شده با پلاسما
√ مجهز به ۳ گروه ۶ تایی از منابع هدف چند قوسی دایرهای، مکانیزم شروع قوس پنهان قابل اعتماد و نگهداری آن آسان است.
√ به راحتی میتواند رسوب فیلم نازک چند عنصری و چند لایه را انجام دهد.
√ منبع چند قوسی پلاسمای بهینه شده، سطح نازک و صافتری را تضمین میکند.
√ میزان استفاده از مواد هدف بسیار بالا است.
پلتفرمهای فناوری رسوبگذاری چندگانه
√ فناوریهای رسوب لایه نازک چندگانه را روی یک پلتفرم، از جمله DC MS + HiPIMS MS + آبکاری یونی چند قوسی، پیادهسازی کنید و میتوانید روشهای پوششدهی تکی، مرکب و ترکیبی را در یک دسته پیادهسازی کنید.
| نام | پارامتر |
| فناوری پوشش | فناوری جدید پوشش کامپوزیتی |
| اچینگ | منبع یون جانبی (رشته داغ) |
| منابع چند قوسی (تعداد) | ۶ |
| کاتدهای مگنترون (تعداد) | ۱ |
| اندازه تجهیزات (میلیمتر) | طول۳۴۰۰ * عرض۱۶۰۰ * ارتفاع۲۶۰۰ |
| حجم محفظه (متر مکعب) | ۰.۷ |
| مساحت پوشش موثر (میلیمتر) | Ф410 * 400 |
| حداکثر دمای کار (℃) | ۷۰۰ |
| ظرفیت بارگیری (تعداد درختان) | ۵ |
| بارگذاری تیغه (APMT1135) | 6000 عدد |
| ظرفیت بارگیری تیغه میلهای (D4*50L) | 1800 عدد |
| حداکثر وزن بارگیری (کیلوگرم) | ۳۰۰ |
| قطر شفت | اف۱۳۰ |
| زمان پردازش | آلتین：6~8 ساعت |